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泰勒白光干涉測量系統集高精度、高穩定性和智能化于一體，專為工業與科研領域的精密表面形貌測量而設計。系統采用先進的干涉技術，配備閉環無壓電Z軸掃描儀，提供2.2 mm垂直測量范圍，并通過標配的AutoStitch功能實現高達100 mm的Z向拼接，適用于大臺階或復雜結構的高分辨率三維重建。1024×1024像素陣列支持大視場下保持空間分辨率，確保細節清晰呈現。

系統搭載新型Claritas 20光調節技術，顯著提升角度靈敏度和數據質量，實現<0.2 ?的RMS可重復性與<0.1%的步高重復性，全量程內分辨率達0.1 ?。有限元優化的機械結構保障了出色的R&R性能，無壓電設計更降低了長期使用中的維護成本。自動表面檢測功能有效防止物鏡碰撞，延長設備壽命。